Краткий пересказ от РИА ИИ
- Разработка российского литографа, способного выпускать чипы размерностью 130 нанометров, движется к завершению.
- Уже испытаны российские эксимерные лазеры — источник излучения для таких установок, приемочные испытания самого литографа стартуют этой осенью.
- Техническое задание на сканирующий фотолитограф с разрешением 90 нанометров уже подготовлено, идет отбор исполнителя.
СИРИУС, 28 сен - РИА Новости. Разработка российского литографа, способного выпускать чипы размерностью 130 нанометров, уверенно движется к завершению, рассказал журналистам глава Минпромторга России Антон Алиханов.
«
"Разработка литографа на 130 нанометров уверенно движется к завершению. Уже испытаны российские эксимерные лазеры - это источник излучения для таких установок. Кроме России, лазеры такого класса производят только две страны в мире - США и Япония. Этой осенью стартуют приемочные испытания самого литографа, завершить их планируем до конца года", - сказал министр.
Он добавил, что техническое задание на сканирующий фотолитограф с разрешением 90 нанометров уже подготовлено. Сейчас идет отбор исполнителя.
Литография в области микроэлектроники представляет собой процесс создания очень мелких структур на поверхности полупроводниковых материалов, которые формируют микросхемы. Такая технология важна для создания, например, микропроцессоров.
