МОСКВА, 16 мая – РИА Новости. Резидент ОЭЗ "Технополис Москва" - предприятие "Микрон" - занимается тестированием первого российского фоторезиста для производства микросхем по 90-нанометровому технологическому процессу, сообщил заммэра Москвы по вопросам транспорта и промышленности Максим Ликсутов.
Более 60 московских компаний работают в сфере микроэлектроники и фотоники, из них примерно 40 являются резидентами ОЭЗ "Технополис Москва". Компании активно занимаются замещением иностранной продукции, выпуская микросхемы, оптико-электронные приборы, смарт-карты, RFID-продукцию и другие высокотехнологичные изделия. Их масштабно поддерживает правительство столицы.
"За время деятельности ОЭЗ Москвы, которая предоставляет резидентам широкий пакет налоговых льгот, производители микроэлектроники инвестировали в свое развитие свыше 75 миллиардов рублей. Это позволило им выпустить высокотехнологичной продукции на более чем 174 миллиарда рублей. Многие предприятия активно внедряют в производство отечественную электронную компонентную базу нового технического уровня, что во многом определит будущее отрасли. Так, резидент ОЭЗ столицы, являющийся одним из ведущих производителей микроэлектроники страны, успешно тестирует первый отечественный фоторезист для фотолитографических процессов с нормами 90 нм. Это станет настоящим прорывом для отрасли", – сказал Ликсутов, его слова привели в пресс-службе департамента инвестиционной и промышленной политики (ДИПП) города.
Фоторезист, созданный на основе полимера, является одним из ключевых элементов в производстве микросхем с помощью фотолитографии. Этот светочувствительный материал наносится на кремниевую подложку, которая облучается с помощью фотолитографа через специальный шаблон. После многократного облучения на пластине создается рельефный "рисунок" микросхемы. Так как в России собственное фотолитографическое оборудование только начинает создаваться, то производство фоторезистов практически не было налажено.
Как рассказал министр правительства Москвы, глава столичного ДИПП Анатолий Гарбузов, сейчас завод "Микрон" является единственным в России производителем микросхем с топологией 180-90 нанометров.
"Его чипы используются в банковских картах НСПК "Мир", загранпаспортах, водительских удостоверениях, транспортной карте "Тройка", школьной карте "Москвенок". Предприятие обладает около 80 действующими патентами и свидетельствами по ключевым продуктам, прошедшим государственную регистрацию. Мощная научная база позволяет резиденту активно замещать импортную компонентную базу и материалы – на сегодня им успешно внедрены в производство 16 сверхчистых химических материалов и 25 специальных электронных газов отечественного производства и еще 23 элемента находятся на стадии разработки", – уточнил он.
Отечественный фоторезист для техпроцессов 90 нм был разработан другим резидентом ОЭЗ Москвы – НИИ Молекулярной электроники при поддержке Минпромторга России. Как пояснил генеральный директор "НИИМЭ" Александр Кравцов, кооперация отечественных научных центров и отраслевых предприятий во главе с НИИМЭ успешно разработала, провела тестирование и апробацию первого полностью российского фоторезиста для технологии 90 нм. Материал обладает всеми необходимыми свойствами, чтобы успешно конкурировать с зарубежными аналогами. Предприятием уже разработано семь специальных материалов, еще 10 находятся в разработке и ведется постановка трех работ.
По словам гендиректора предприятия "Микрон" Гульнары Хасьяновой, деятельность по импортозамещению материалов для микроэлектроники необходимо вести в кооперации с научными учреждениями – тогда исследования сразу переходят в производство.
"Отечественный фоторезист для техпроцесса 90 нм – это важная веха, как для завода "Микрон", который ведет беспрецедентную в мировой практике замену материалов на действующем производстве, так и для всей отрасли", – сказала Хасьянова.
В ОЭЗ "Технополис Москва" также разработан первый отечественный фотолитограф для техпроцесса 350 нм.
"Создание передовых разработок стало возможным, в том числе благодаря мерам поддержки, которые оказывает особая экономическая зона Москвы. Так за время своей деятельности резиденты ОЭЗ столицы сэкономили на налогах свыше 14,8 миллиарда рублей. При этом они вложили в развитие своих производств 215 миллиардов рублей инвестиций", – подчеркнул генеральный директор ОЭЗ "Технополис Москва" Геннадий Дегтев.